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高纯气体管道工程系统

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是指半导体、液晶和太阳电池等工厂使用的高纯度供气

公司提供专业的高纯度供气系统交钥匙式整体解决方案,并取得了半导体厂、液晶厂和光伏能源、太阳能电池工厂的业绩 

深圳沃飞科技有限公司是一家专业从事气体应用系统工程:电子特气系统、实验室气路系统、工业集中供气系统、大宗气体(液体)系统、高纯气体及特种工艺气体二次配管系统、化学品输送系统、纯水系统提供从技术咨询、整体规划、系统设计、选定设备、预制组件、项目现场安装建设、整体系统检测、维护保养等全套工程技术服务和配套产品于一体的高新技术企业;


工程项目覆盖半导体、集成电路、平板显示、光电、汽车、新能源、纳米、光纤、微电子、石油化工、生物医药、各类实验室、研究所、标准检测等高科技行业;为客户提供高纯介质输送系统全套解决方案;逐步成为行业领先的整体系统供应商。


高纯供气系统

高纯气配管技术是高纯气体供气系统的重要组成部分,是能否将合符要求的高纯气体送至用气点仍保持质量合格的关键技术;所谓高纯气配管技术包括系统的正确设计、管件及附件的选择、施工安装和 试验测试等内容。

常见气体的种类电子行业中常见气体的分类:普通气体,也称大宗气体(Bulk gas ):氢气(H2)、氮气(N2)、氧气(O2)、氩气(A2)等特种气体(Specialty gas )主要有 SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3 POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2 HF HBR SF6……等等特殊气体的种类一般可分为腐蚀性、毒性、可燃性、助燃性、惰性等,一般常用的半导体气体分类如下:
(一)、腐蚀性 / 毒性:HCl 、BF3、 WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、 PH3、Cl2、 BCl3 …等
(二)、可燃性:H2、 CH4、 SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO…等
(三)、助燃性:O2、Cl2、N2O、NF3…等
(四)、惰性:N2、CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He…等 半导体气体很多是对人体有害。
特别是其中有些气体如SiH4的自燃性,只要一泄漏就会与空气中的氧气起剧烈反应,开始燃烧;还有AsH3的剧毒性,任何些微的泄漏都可能造成人员生命的危害,也就是因为这些显而易见的危险,所以对于系统设计安全性的要求就特别高。  

沃飞根据您的需求,为你提供高纯气体配件、设计、安装、托管维护、个性化全程专业服务;使产品和工程的品质、安全得到有力的保证。

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